Kontroll tal-purità tal-fittings tar-ram fis-sistemi tal-gass speċjalizzati tas-semikondutturi
Introduzzjoni għas-Sistemi tal-Gass Speċjalità Semikondutturi
Proċessi ta 'manifattura tas-semikondutturi jitolbu ambjenti ultra-nodfa u kkontrollati ħafna.
Sistemi ta 'konsenja ta' gass speċjalizzati għandhom rwol kritiku fl-inċiżjoni, deposizzjoni, doping, u passi ta 'tindif.
Gassijiet bħal silane, ammonja, klorur tal-idroġenu, u trifluworidu tan-nitroġenu jeħtieġu mogħdijiet ta 'trasport ta' purità għolja.
Fittings tar-ram, għalkemm mhux dejjem l-ewwel għażla, xi kultant jiġu applikati f'linji sekondarji jew sistemi ta 'appoġġ.
Iż-żammapurità kimika u integrità strutturaliTagħmir tar-ram huwa vitali biex tiġi evitata l-kontaminazzjoni.
Importanza tal-purità materjali f'applikazzjonijiet semikondutturi
Is-semikondutturi huma estremament sensittivi għall-impuritajiet fil-livell molekulari.
Anke partijiet għal kull biljun (PPB) kontaminazzjoni mill-pajpijiet jew fittings tista 'twassal għal telf ta' rendiment jew falliment tal-apparat.
Ir-reazzjonijiet tal-qbiż, il-korrużjoni, jew il-wiċċ fil-linji tal-gass għandhom ikunu kkontrollati sewwa.
Dan jagħmel l-għażla tal-materjal u l-immaniġġjar tal-purità ċentrali għad-disinn tas-sistema tal-gass.
Ir-ram, bi finitura xierqa u kontroll tal-kwalità, jista 'jissodisfa dawn l-istandards f'linji tal-gass mhux kritiċi.
Kompożizzjoni tal-materjal tar-ram u tħassib
Brass standard huwa liga tar-ram u taż-żingu, li xi kultant ikun fih ċomb jew landa.
Impuritajiet bħal kubrit, fosfru, jew żjut residwi jistgħu jikkompromettu l-livelli ta 'purità.
Ir-ram taċ-ċomb għoli huwa evitat strettament f'applikazzjonijiet ta 'kamra nadifa jew semikondutturi.
BissĊomb baxx, reżistenti għall-dezincification (DZR)Ir-ram għandu jiġi kkunsidrat għal ambjenti bħal dawn.
Il-manifatturi għandhom jipprovduċertifikati tal-materjaltikkonferma l-konformità mal-istandards Semi, ASTM, jew ROHS.
Ir-rekwiżiti tal-finitura tal-wiċċ u tal-elettropoppoli
Il-finitura interna tal-wiċċ tal-fittings tar-ram tinfluwenza ħafna l-indafa tas-sistema tal-gass.
Uċuħ mhux maħduma jew porużi jaqbdu l-umdità, l-idrokarburi, u l-partikulati, u jikkawżaw kontaminazzjoni fit-tul.
Biex tiġġieled dan, il-fittings huma spisselettropolizzatBiex tinkiseb wiċċ ta 'ġewwa lixx u passivat.
Il-ħruxija tal-wiċċ fil-mira (RA) hija tipikament inqas minn0.2 µmGħal-linji tad-distribuzzjoni tal-gass.
Wara l-lokijiet, fittings jgħaddu minn tindif ġewwaSolventi tal-Ultrapuresegwit minn tnixxif bil-vakwu u purging tan-nitroġenu.
Kontroll tal-partikuli u ippakkjar tal-kamra nadif
Fittings tar-ram għal sistemi ta 'gass semikondutturi għandhom jissodisfaw strettiSpeċifikazzjonijiet tal-Għadd tal-Partiċelli.
Kwalunkwe partiċelli maħlula jew qxur tal-metall jistgħu jkunu diżastrużi għal wejfers sensittivi għall-gass.
Biex tindirizza dan, il-fittings jgħaddu minn purità għoljaTindif ultrasonikuUża l-ilma DI u l-istandards tal-kamra nadifa tal-Klassi 100.
Ladarba jitnaddfu, il-fittings humab'baġit doppjufl-imballaġġ ta 'grad ta' kamra nadifa biex tevita l-kontaminazzjoni.
It-tikketti spiss jinkludu traċċabilità tal-lott, informazzjoni dwar it-tindif tal-lott, u indikaturi tal-kontroll tal-umdità.
Passivazzjoni u kisi għall-istabbiltà kimika
Minħabba li r-ram huwa aktar reattiv mill-istainless steel, il-passivazzjoni tal-wiċċ hija kruċjali.
Metodi ta 'passivazzjoni jinkludu ossidazzjoni kkontrollata, kisi ħieles mill-kromju, jewplating tan-nikil.
Il-kisjiet tan-nikil jew tan-nikil tan-nikil iservu bħala saff ta 'barriera biex jipprevjenu lissija taż-żingu jew ossidazzjoni.
Dan il-kisi jsaħħaħ ukoll il-kompatibilità kimika ma 'gassijiet bħal HF jew CLF₃.
Il-kontrolli regolari tal-ħxuna tal-kisi u l-ittestjar tal-adeżjoni jiżguraw id-durabilità f'sistemi taħt pressjoni.
Spezzjoni, Ċertifikazzjoni, u Traċċabilità
It-tagħmir tar-ram isfar ta 'purità għolja għandu jgħaddiSpezzjoni fuq ħafna livelliqabel l-integrazzjoni fil-linji tal-gass.
L-ittestjar jinkludi:
Ittestjar tat-tnixxija tal-elju (tipikament<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Analiżi tal-Gass Residwali (RGA)
Testijiet ta 'tfixkil ta' partiċelli ta 'mikrobalance
XRF jew ICP-MS għall-Verifika tal-Materjal
Kull twaħħil għandu jkun għal kolloxTraċċabbli bin-numru tal-lott, ma 'assoċjatĊertifikati ta 'Konformità (COC).
Xi faċilitajiet jeħtieġu verifiki ta 'partijiet terzi jew dokumentazzjoni ta' ċertifikazzjoni ISO 14644.
Konfini u alternattivi tal-applikazzjoni
Filwaqt li r-ram jista 'jissodisfa l-kriterji ta' purità, l-użu tiegħu huwaLimitat għal mogħdijiet mhux kritiċiFil-fabs tas-semikondutturi.
Għal linji tal-gass ta 'purità ultra-għolja (UHP),316L Stainless Steel b'VCR jew Weldjaturi Orbitalihuwa preferut.
Fittings tar-ram jistgħu jiġu applikati f'sistemi ta 'l-egżost, linji ta' purge, jewProċess ta 'sistemi ta' ilma li jkessaħ.
Meta magħżul b'mod korrett u trattat b'mod xieraq, Brass jipprovdi soluzzjoni stabbli kosteffikaċi.
Avvanzi futuri fit-teknoloġija tal-kisi u t-tindif jistgħu jespandu l-utilità tagħha f'applikazzjonijiet semikondutturi.
Konklużjoni
Il-kontroll tal-purità fil-fittings tar-ram għas-sistemi tal-gass speċjalizzati tas-semikondutturi huwa kemm kumpless kif ukoll essenzjali.
Mill-għażla tal-materjal sal-irfinar tal-wiċċ u l-imballaġġ, kull pass ikollu impatt fuq il-kwalità tal-gass.
Filwaqt li r-ram mhuwiex ideali għal applikazzjonijiet ta 'purità għolja, trattament avvanzat u kontroll tal-kwalità jistgħu jagħmluha vijabbli f'żoni magħżula.
Permezz ta 'spezzjoni rigoruża, passivazzjoni u ċertifikazzjoni, dawn it-tagħmir jista' jappoġġja b'mod sikur f'ambjenti ta 'manifattura ta' ċippa tal-ġenerazzjoni li jmiss.
Ikkuntattja IFan
Telefon:+86 15088288323
